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無人機、無人車、無人船、機器人等代表性無人系統(tǒng)的智能自主控制是當前自動控制領域的研究熱點，更是提升無人系統(tǒng)自主性和智能化水平。自主導航技術利用對應的自主導航系統(tǒng)獲取無人系統(tǒng)自身的位置、速度及姿態(tài)信息，是實現(xiàn)無人系統(tǒng)智能自主控制不可少的一門技術保障。在無線電導航、地形匹配導航、慣性導航、衛(wèi)星導航、磁導航及視覺導航等眾多導航技術中，不需要依賴外界信息的慣性導航技術是目前實現(xiàn)無人系統(tǒng)自主導航的一種強有力技術手段?；谖C電系統(tǒng)（micro-electro-mechanical system, MEMS）慣性傳感器的MEMS慣性導航技術是慣性導航技術的一個重要分支，其系統(tǒng)具有成本低、體積小、功耗低以及抗沖擊強等優(yōu)點。因此，針對MEMS慣性傳感器及其導航技術的研究對無人系統(tǒng)自主導航技術的快速發(fā)展和滿足其日益提升的應用需求有重要的支撐意義。

1. MEMS慣性傳感器

1.1 MEMS慣性傳感器的分類

MEMS慣性傳感器包括MEMS陀螺儀及MEMS加速度計，其分類有多種方式，根據(jù)精度由低到高其可分為消費級（零偏>100°/h）和戰(zhàn)術級（零偏0.1°/h ~ 10°/h）。

根據(jù)感知角速度的方式，MEMS陀螺儀可以分為振動臂式、振動盤式和環(huán)形諧振式。振動臂式MEMS陀螺儀通過測量扭轉振動幅度以及扭轉振動相位來獲取角速度，典型代表為3DM-GX5-45 GNSS輔助慣導系統(tǒng)。MEMS陀螺通過測量元件與底部之間電容量的變化來獲取角速度，典型代表為MicroStrain的慣性測量單元。

根據(jù)感知加速度的方式，MEMS加速度計可分為位移式、諧振式和靜電懸浮式。位移式MEMS加速度計通過檢測電容變化來測量加速度大小，典型代表為MicroStrain公司的3DM-GX5-45。

根據(jù)傳感原理，MEMS加速度計可分為壓阻式、壓電式和電容式3類。壓阻式加速度計通過將相應懸臂梁上的電阻轉化成電壓輸出，即可將加速度信息轉變?yōu)殡娦盘栞敵?，具有體積小、加工工藝簡單、精度高、響應速度快、抗電磁干擾強等優(yōu)點。壓電式MEMS加速度計通過測量內部壓敏阻值變化與被測加速度的關系，從而推算出外界加速度，具有測量范圍大、重量小、體積小、抗干擾能力強、結構簡單和測量精度高的優(yōu)點。電容式MEMS加速度計通過檢測電容值的變化量，從而推算出外界加速度，具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、功耗低等優(yōu)點。

1. MEMS慣性傳感器的發(fā)展概況

從MEMS慣性傳感器與加速度計研制成功至今，伴隨著MEMS技術的發(fā)展，MEMS慣性傳感器與加速度計器件性能得到明顯的提高。

2. MEMS慣性導航的關鍵技術

MEMS慣性導航系統(tǒng)軟件設計方面主要是導航算法，包括初始對準、慣性解算及誤差補償?shù)人惴?；其硬件設計方面主要包括電路及結構的設計、慣性導航傳感器（陀螺儀、加速度計）及導航計算機的選擇等。系統(tǒng)精度不僅與硬件相關，而且與軟件有很大關系。在目前硬件加工技術發(fā)展較慢的前提下，系統(tǒng)中誤差補償算法尤為重要。對于導航精度要求較高的應用，由于系統(tǒng)具有長航時的特點，MEMS慣性導航誤差易發(fā)散，多采用組合導航的方式來抑制慣性導航系統(tǒng)的誤差發(fā)散。本節(jié)主要介紹MEMS慣性傳感器的誤差分析與補償以及MEMS組合導航算法設計。

3. MEMS慣性傳感器的誤差分析與補償

慣性傳感器是慣性導航系統(tǒng)的核心組成，其精度決定了慣性導航系統(tǒng)的精度，所以慣性導航系統(tǒng)的一項主要工作就是將慣性傳感器誤差進行補償。提高慣性導航系統(tǒng)精度的手段大致有以下兩種，第一種是從工藝上提高慣性傳感器的精度，但是此方法技術難度大，且對于加工條件、材料等要求高；第二種就是采用誤差補償方式來對于系統(tǒng)的誤差進行補償。

MEMS慣性傳感器的誤差分析與補償方法大致分為3種：第一種是采用誤差補償算法的方式進行補償，即將誤差通過算法擬合方式進行補償；第二種是采用旋轉調制技術，將IMU（慣性測量單元）加上轉動機構進行旋轉，通過旋轉來消除常值誤差（稱為旋轉調制）；第三種是采用Allan方差分析法，以補償系統(tǒng)的隨機誤差。
 

4. 慣性傳感器的溫度誤差補償技術

溫度所帶來的慣性器件精度誤差主要來自慣性器件本身對于溫度的敏感程度以及溫度梯度或者溫度與溫度梯度的交叉乘積項的影響。隨著溫度的變化，慣性器件的結構材料由于熱脹冷縮會形成干擾力矩，因此需要對于慣性器件的溫度特性進行研究，以獲取溫度對于慣性器件輸出性能影響的規(guī)律，建立加速度計靜態(tài)溫度模型并且對因溫度變化引起的誤差進行補償，是提高其精度的一種有效手段。

對陀螺儀及加速度計的靜態(tài)溫度模型進行擬合的方法一般采取最小二乘法，以此得到陀螺儀和加速度計的數(shù)學模型系數(shù)與溫度的關系并建立靜態(tài)溫度誤差補償模型，從而提高器件精度。國內多家陀螺儀及加速度計生產(chǎn)單位均對溫度誤差補償進行研究，使之較補償前的產(chǎn)品靜態(tài)誤差減小了一個數(shù)量級。
 

5. 慣性傳感器常值漂移誤差的旋轉調制技術

旋轉調制技術起初應用于靜電陀螺系統(tǒng)，通過殼體旋轉來自動補償漂移誤差力矩。自激光陀螺面世以來，美國迅速開展了旋轉式慣性導航系統(tǒng)的研究，1968年，有學者提出通過旋轉IMU的方式來對慣性傳感器的漂移誤差進行補償。

由于旋轉的需要，導航系統(tǒng)采取捷聯(lián)算法，從原理上來講，MEMS慣性導航系統(tǒng)旋轉調制可以有效抵消系統(tǒng)常值誤差，系統(tǒng)的誤差傳播方程如下：

6. MEMS組合導航算法

MEMS慣性導航系統(tǒng)具有低成本、體積小、功耗低等優(yōu)勢。但是由于MEMS慣性器件精度較低，長時間使用會導致誤差發(fā)散較快，不能擔任長時間的導航任務，所以目前一般采用多傳感器融合的方式來進行導航，即將MEMS慣性導航與其他導航方式進行融合，通過其他導航系統(tǒng)的導航信息輔助來修正慣性導航系統(tǒng)的誤差，由此來提高整個導航系統(tǒng)的精度。若要進行多個導航系統(tǒng)的數(shù)據(jù)融合，則要使用濾波等方法。

7. MEMS慣性導航的應用

MEMS慣性導航技術以其體積小、功耗低、重量輕及低成本等特點在多種無人系統(tǒng)，如無人機、無人車、無人船及機器人等系統(tǒng)中得到普遍應用。

無人機領域

在近幾年來，微小型無人機在軍用以及民用領域內發(fā)揮著越來越重要的作用，而為了實現(xiàn)無人機自身的定位以及定位問題，航姿測控系統(tǒng)發(fā)揮著至關重要的作用。航姿測控系統(tǒng)主要由GPS天線、GPS接收板、捷聯(lián)式磁傳感器、慣性測量單元、高度空速傳感器以及調理單元構成。傳感器的精度直接決定無人機位姿的精度,傳感器采集到的數(shù)據(jù)通過導航算法計算出無人機的位置姿態(tài)信息。目前無人機的導航主要采取將MEMS慣性導航系統(tǒng)與GPS組合的手段，這樣既可以提高系統(tǒng)精度，又可以縮短初始對準的時間。

無人車領域

無人車是通過車載傳感器來感知外界環(huán)境，并且獲取車輛位置、姿態(tài)信息以及障礙物信息，從而控制車輛行駛速度、轉向以及起停等。目前谷歌、百度等公司均在開展無人車的研制工作，并已經(jīng)開展道路實驗。當無人車行走到高大建筑物下，且GPS被遮擋而無法正常工作時，無人車上搭載的慣性導航系統(tǒng)短時間內的精度可以滿足車輛自主前行的需求。無人車上的MEMS慣性導航系統(tǒng)，一般精度要求較高。

無人船領域

由于邊境巡邏、水質勘探等任務所采取普通的艦船設備較為危險并且成本較高，致使無人船技術發(fā)展迅速。獲取無人船位置姿態(tài)信息是無人船能夠自主開展工作的重要前提。如今無人船上配備的傳感器主要有GPS，MEMS慣性導航系統(tǒng)及避障雷達等。隨著MEMS慣性導航系統(tǒng)精度的提高，慣性導航系統(tǒng)在無人船的位置姿態(tài)信息獲取中發(fā)揮著至關重要的作用。無人船上搭載的MEMS慣性導航系統(tǒng)，一般消費級的中低精度即可滿足需求。

機器人領域

移動機器人是一種可以自主在固定或時變環(huán)境中進行工作的自動化設備。近年來在服務業(yè)、家居、工業(yè)等領域應用廣泛。輪式機器人在應用方面與無人車相似，均通過視覺相機、MEMS慣性傳感器、激光雷達及里程計等傳感器采集數(shù)據(jù)進行導航。國內高校也對輪式機器人較早開始研究工作。在采取慣性傳感器與里程計的輪式機器人的導航過程中，MEMS慣性傳感器提供精確的姿態(tài)角，而由于輪子打滑等對慣性導航以及里程計產(chǎn)生影響，現(xiàn)大多通過視覺里程計與MEMS慣性導航組合導航，通過擴展Kalman濾波算法來進行數(shù)據(jù)融合，從而提高系統(tǒng)精度。

其他領域

除了上述領域外，MEMS慣性傳感器還在電子設備，如手機、平板電腦、游戲機、相機、VR眼鏡以及用于室內定位的單兵導航。目前消防員在高樓滅火時以及行動不便的老人在家的人身安全問題是社會普遍關注的問題，如果將MEMS慣性導航系統(tǒng)放置在探測人員身上進行導航，則可以獲得實時位置姿態(tài)信息，這樣就可以提高被監(jiān)視人員的安全系數(shù)。使用MEMS慣性導航系統(tǒng)進行室內人員定位辦法大致有以下幾種：一種是利用MEMS加速度計對人員步伐狀態(tài)進行檢測識別，再通過磁力計檢測人員運動方向，由此來進行室內人員的定向定位。另外一種方法是采用兩個或多個MEMS慣性導航系統(tǒng)，安裝在人員腳部以及腰部位置，通過多個MEMS慣性導航系統(tǒng)修正方法來進行定位。

8. MEMS慣性導航的發(fā)展展望

MEMS慣性導航器件

近幾年來，MEMS慣性傳感器發(fā)展迅速，精度不斷提高。雖然相比光纖陀螺、激光陀螺仍有很大差距，但是其價格低、體積小、重量輕，使MEMS慣性導航系統(tǒng)在慣性導航系統(tǒng)中發(fā)揮重要作用。未來隨著MEMS材料工藝與制造工藝不斷發(fā)展，MEMS慣性導航系統(tǒng)精度必將不斷提高，其成本也將不斷降低，因此采用戰(zhàn)略級高精度MEMS陀螺儀取代光纖陀螺儀是一個重要發(fā)展趨勢。隨著微加工工藝的不斷進步，MEMS慣性傳感器將向著輕質、小型化方向發(fā)展。

MEMS組合導航算法

盡管MEMS慣性傳感器精度在不斷進步，但是戰(zhàn)術級MEMS慣性導航系統(tǒng)誤差隨時間積累仍然發(fā)散較大，在很多場合還不能滿足高精度的要求，故MEMS慣性導航與GPS組合導航仍然是主要導航方式。因此，研究精度以及效率更高、魯棒性更強的算法，在軟件方面給予組合導航系統(tǒng)支持也是重要的發(fā)展方向。

MEMS慣性導航的應用

在MEMS技術發(fā)展的數(shù)十年內，MEMS慣性導航技術在電子領域、汽車行業(yè)以及家居服務行業(yè)得到了廣泛應用。隨著MEMS慣性導航精度和穩(wěn)定性不斷提高，未來MEMS慣性導航技術必將在無人系統(tǒng)領域，如航天器、衛(wèi)星、機器人等無人系統(tǒng)中，扮演重要的角色。

9. 結語

MEMS慣性導航技術具有小型化、低成本等優(yōu)勢，在過去數(shù)十年內得到了迅速發(fā)展，在無人系統(tǒng)領域內得到了越來越多的應用，其作為未來慣性導航的主要發(fā)展方向，正在展現(xiàn)出強大的潛力以及良好的應用前景。本文回顧了MEMS慣性導航系統(tǒng)發(fā)展歷程，總結其關鍵技術，并對MEMS慣性導航技術的應用及發(fā)展進行展望，為MEMS慣性導航系統(tǒng)的研究提供參考。